樫山Kashiyama MU/SDL系列罗茨真空泵维修

樫山Kashiyama MU/SDL系列罗茨真空泵 维修

苏州玖深真空设备科技有限公司专业维修日本樫山工业（Kashiyama）MU系列罗茨增压干式真空泵及SDL系列Load Lock大排量多级罗茨泵。MU系列是樫山面向半导体和面板显示（FPD）产线的核心干泵产品线，历经四代演进（MU-P/H → MU-X → MU-XE → MU-P最新），抽速覆盖1,660~50,000 L/min。SDL系列专用于晶圆/基板Load Lock腔体快速抽空，最大抽速达60,000 L/min。我们具备MU全系列及SDL全系列的维修能力。

MU系列维修的核心挑战：MU系列经历了四代技术演进，不同代际的转子型线、齿轮参数、密封结构差异较大。旧型号（MU-P/H、MU-X）的配件已部分停产，需要通过替代方案或定制加工解决。玖深凭借10年进口干泵维修积累，建立了MU系列跨代际配件兼容数据库，能有效解决旧型号配件难题。

MU系列技术定位

MU系列是樫山多级罗茨干泵的中坚产品线，定位为罗茨增压干式真空泵（Mechanical Booster），也可独立使用。与NeoDry系列（小型空冷）不同，MU系列面向半导体晶圆制造和FPD面板产线的中高负荷工艺，抽速范围1,660~50,000 L/min，是半导体产线上使用量最大的干泵系列之一。

技术特征	说明
转子类型	多级罗茨型线转子，无油无金属接触
定位	半导体/FPD产线主力干泵，可作增压泵使用
冷却方式	水冷（部分小机型空冷）
极限压力	0.5~5.0 Pa（因代际和型号而异）
抽速范围	1,660~50,000 L/min
典型应用	CVD/PECVD、刻蚀、PVD溅射、离子注入等半导体工艺
核心优势	无油洁净、耐工艺副产物、可靠性高、维护周期长

MU系列四代演进与维修覆盖

第一代：MU-P/H系列（2000s~2010s初期）

型号	抽速(L/min)	极限压力(Pa)	功耗(kW)	重量(kg)	维修状态
MU100P/H	1,660	3.0	0.7	70	✓ 可修（配件需兼容方案）
MU180P/H	3,000	5.0	1.0	130	✓ 可修
MU300P/H	5,000	3.0	0.9	110	✓ 可修
MU600P/H	10,000	3.0	0.95	130	✓ 可修
MU1218P/H	20,000	5.0	1.4	280	✓ 可修
MU20N18P/H	30,000	0.5	1.5	410	✓ 可修
MU30N18P/H	50,000	0.5	1.6	410	✓ 可修

P型=节能型，H型=高耐腐蚀型。此代已停产，二手市场常见型号：MU100-3、MU300-019、MU600X-004、MU100XU-108等。

第二代：MU-X系列（2010s中期）

型号	抽速(L/min)	极限压力(Pa)	功耗(kW)	维修状态
MU100X	1,660	1.5	0.5	✓ 可修
MU180X	3,000	1.5	0.5	✓ 可修
MU300X	5,000	1.5	0.45	✓ 可修
MU600X	10,000	1.5	0.5	✓ 可修
MU1200X	20,000	0.5	0.6	✓ 可修

主打"世界最小级尺寸和功耗"，体积较一代缩小约60%。此代已大量进入二手流通市场。

第三代：MU-XE系列（2018-2020，现售主力）★

型号	抽速(L/min)	极限压力(Pa)	功耗(kW)	重量(kg)	维修状态
MU100XE	1,660	1.5	0.25	60	✓ 可修
MU180X	3,000	1.5	0.5	95	✓ 可修
MU300XE	5,000	1.5	0.45	100	✓ 可修
MU600XE	10,000	1.5	0.5	120	✓ 可修
MU1200XE	20,000	0.5	0.6	165	✓ 可修

XE=极致节能版。功耗较一代降低64%（MU100P/H 0.7kW → MU100XE 0.25kW），极限压力从3.0Pa改善至1.5Pa。当前在售主力。

第四代：MU-P系列（2023-2024，最新平台）

型号	抽速(L/min)	极限压力(Pa)	功耗(kW)	特点	维修状态
MUP600E	10,000	0.5	0.8	大幅面化新平台	✓ 可修
MUP1200E	19,000	0.5	0.95	大幅面化新平台	✓ 可修
MUP1800E	30,000	0.5	1.1	大幅面化新平台	✓ 可修
MUH3000	50,000	0.5	1.6	高耐腐蚀型，最大排量	✓ 可修

2023-2024年发布的最新平台，极限压力统一提升至0.5Pa，最大排量扩展至50,000 L/min。MUH3000为高耐腐蚀版本。

SDL系列（Load Lock大排量多级罗茨泵）

型号	抽速(L/min)	极限压力(Pa)	重量(kg)	定位	维修状态
SDL12E50	25,000	0.8	645	Load Lock标准型	✓ 可修
SDL20E50	40,000	0.8	800	Load Lock大排量	✓ 可修
SDL36E60	60,000	0.8	920	Load Lock超大排量	✓ 可修
SDL3600	60,000	0.8	950	较新大排量型号	✓ 可修

SDL系列采用罗茨主泵+罗茨前级泵组合结构，专用于Load Lock腔体快速抽空。随着晶圆/基板尺寸增大，Load Lock排量需求持续增长。SDL系列目前在售，暂无直接替代系列。

MU系列常见故障与维修方案

故障1：工艺副产物沉积导致转子卡死
原因分析：CVD/PECVD工艺产生的粉末状副产物在泵腔内堆积，长时间运行后板结，导致转子转动阻力增大甚至卡死
维修方案：泵腔全拆解 → 化学清洗去除沉积物 → 转子表面检查/修复 → 间隙重调 → 热态运行测试

故障2：水冷系统结垢/堵塞，泵温过高
原因分析：冷却水水质不佳导致水道结垢，散热效率下降，泵过热保护频繁触发
维修方案：水道除垢清洗 → 水路密封件更换 → 温控传感器校验 → 温升测试

故障3：同步齿轮磨损，转子相位偏移
原因分析：长时间高负荷运行导致齿轮齿面磨损，转子同步精度下降，严重时转子碰撞
维修方案：齿轮磨损量测量 → 齿轮热装更换 → 转子相位校准 → 啮合间隙调整 → 动平衡校正

故障4：轴封泄漏，真空度下降
原因分析：轴封唇口老化磨损，大气侧空气渗入泵腔，极限真空度无法达到
维修方案：轴封全套更换 → 密封面检查修复 → 氦检漏 → 极限真空度复测

故障5：旧型号配件停产（MU-P/H、MU-X系列）
原因分析：第一代和第二代已停产，部分专用配件（转子、泵体、特定密封件）原厂不再供应
维修方案：玖深配件兼容数据库匹配 → 同系列跨代际配件适配 → 必要时定制加工 → 修复后性能验证

SDL系列维修特别说明：SDL系列单台重量645~950kg，属于重型设备。玖深车间配备10吨行车、重型维修工位和专用拆装工装，可完成SDL全系列转子拆解、大型轴承更换（热装工艺）、多级罗茨组合间隙调整。市面具备SDL维修能力的第三方极少，玖深是华东地区为数不多的SDL专业维修商。

我们的MU/SDL维修能力

项目	详情
维修品牌	日本樫山工业（Kashiyama）MU全系列 + SDL全系列
代际覆盖	第一代MU-P/H → 第二代MU-X → 第三代MU-XE → 第四代MU-P（最新）
SDL覆盖	SDL12E50 / SDL20E50 / SDL36E60 / SDL3600
核心能力	多级罗茨转子间隙精密调整、跨代际配件兼容方案
重型设备	10吨行车、SDL专用拆装工装、大型动平衡机
配件方案	原厂件采购（通过代理渠道）+ 同等品质替代件 + 定制加工
测试标准	极限真空度、抽速曲线、温升、振动值、噪音、水冷流量六项全测
维修周期	常规7-10个工作日，SDL大泵10-15个工作日
质保期	整机保修一年
备泵服务	维修期间提供同型号或兼容型号备用泵

送修流程

1. 联系报修：拨打服务电话或微信，告知MU/SDL型号和故障现象

2. 远程初诊：工程师根据故障描述初步判断原因

3. 送修/取件：客户自行送修或安排物流寄送（大泵可安排专车取件）

4. 初检报价：进场初检后出具维修方案和报价，含配件来源说明

5. 维修测试：六大工段流程化维修，出具测试报告

6. 回送验收：修好泵回送客户，可安排工程师上门安装调试

7. 售后质保：整机保修一年，质保期内免费处理同类故障

联系方式

项目	信息
苏州总部	苏州市（维修车间/备件仓库/重型维修工位）
深圳据点	深圳市宝安区（华南维修服务中心）
联系电话	139-2459-2130（王先生）
微信咨询	扫码添加客服微信
服务时间	周一至周六 8:00-18:00，紧急故障7×24响应