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MRD3608 多级罗茨泵
详细描述
GHC系列干泵，可应用于清洁工艺、一般工艺和苛刻工艺制程，处理粉尘能力极强，是苛刻工艺应用的优选，并且可靠性高，使用成本极低。
●适合多样化市场，广泛应用于半导体、面板显示等行业。
应用挑战及应用领域
1, FPD行业，日本KASHIYAMA机组，韩国LOT 机组；
2, 工业镀膜PVD,CVD行业；对标普旭，莱宝机组
工艺 | 冷凝 | 腐蚀 | 粉尘 | 热反应 | 可燃气体pumping | 推荐产品 |
ALD | Y | Y | Y | Y | Y | GHC |
PECVD | Y | Y | Y | Y | GHC | |
LPCVD | Y | Y | Y | Y | GHC | |
SACVD | Y | Y | Y | Y | GHC | |
MOCVD | Y | Y | Y | GHC | ||
MetalEtch | Y | Y | GHC |
技术参数
型号 | 最大抽速 | 极限真空 | 进气口径 | 排气口径 | 电源电压 | 额定功率 | 运行功率 | 冷却水 | 氮气 | 重量 | 噪音 |
Model | (m3/h) | (mbar) | (ISO) | (NW) | （V） | （kW） | （kW） | (L/min) | （slm） | （kg） | dB(A) |
GHC200 | 215 | ＜2×10-2 | 100 | 40 | 208/380 | 7.5 | 2.7 | 2.7 | 22-44 | 265 | ＜70 |
GHC500 | 510 | ＜2×10-2 | 100 | 40 | 208/380 | 11 | 6 | 6 | 44-96 | 411 | ＜70 |
GHC600 | 680 | ＜5×10-3 | 100 | 40 | 208/380 | 12 | 2.3 | 3 | 22-44 | 468 | ＜70 |
GHC1200 | 1200 | ＜5×10-3 | 100 | 40 | 208/380 | 12 | 3 | 4.1 | 44-96 | 468 | ＜70 |
GHC1800 | 1800 | ＜5×10-3 | 160 | 40 | 208/380 | 12 | 3.5 | 4.2 | 44-96 | 488 | ＜70 |
GHC3000 | 3300 | ＜5×10-3 | 160 | 40 | 208/380 | 18.5 | 7.3 | 12 | 96-128 | 827 | ＜70 |
GHC5000 | 4480 | ＜5×10-3 | 200 | 40 | 208/380 | 18.5 | 7.3 | 12 | 96-128 | 928 | ＜70 |
GHC6000 | 5500 | ＜5×10-3 | 250 | 40 | 208/380 | 18.5 | 7.3 | 12 | 96-128 | 973 | ＜70 |
产品尺寸
型号Model | 长（mm） | 宽（mm） | 高（mm） |
GHC200 | 1150 | 440 | 520 |
GHC500 | 1240 | 580 | 620 |
GHC600 | 901 | 396 | 787 |
GHC1200 | 901 | 396 | 787 |
GHC1800 | 901 | 396 | 787 |
GHC3000 | 1000 | 517 | 970 |
GHC5000 | 1000 | 517 | 970 |
GHC6000 | 1100 | 517 | 970 |
抽速曲线
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