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EBARA(荏原)是日本综合机械制造商,其 EV-S 系列干式真空泵在半导体刻蚀、沉积等工艺中有广泛应用。EBARA 干泵以结构紧凑、适应性强为特点。
覆盖 EV-S 系列(如 EV-S20P)及其他 EBARA 干式真空泵的维修保养,按通用干泵六大工段流程作业:初检 → 拆解清洗 → 部件修复 → 单泵测试 → 组装测试 → 应用支持。
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