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干式-多级罗茨泵MRD系列
一、产品简介及用途
●特别适合很大规格的晶圆及FPD面板镀膜刻蚀高抽真空环境
●可以在一个大气压下获得极高速的抽气能力，特别适合L/L 工艺（装卸载工
二、应用挑战及应用领
三、技术参数
四、产品尺寸 抽速曲线
售后服务：
1、真空泵自终验收结束后算起半年内实行三包，提供终身维修及技术支持。
2、真空泵出现问题24小时内给予电话答复，如电话解决不了，48小时内到人。
3、保修期内机床出现故障，免费为用户更换零配件及维修;超出质保期的维修如需更换零配件只收取工本费，并及时为用户提供有效服务。
五、联系我们
联系人：销售经理
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销售QQ：3243509751
邮箱：sa2010@changeon.com
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产品中心
真空泵维修保养
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- 联系人：王先生
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