樫山Kashiyama SDE/SD系列螺杆真空泵维修

樫山Kashiyama SDE/SD系列螺杆真空泵 维修

苏州玖深真空设备科技有限公司专业维修日本樫山工业（Kashiyama）SDE系列卧式螺杆干式真空泵及SD系列最新立式螺杆旗舰泵。螺杆泵是樫山面向半导体和液晶（FPD）严苛制程（Hard Process）的核心产品线，与多级罗茨泵（NeoDry/MU/SDL）并列为樫山两大技术路线。SDE系列生命周期超过20年，是半导体产线上使用量最大的螺杆干泵之一；SD系列于2023年发布，是樫山螺杆泵的下一代统一平台，正在逐步替代SDE全系列。我们具备SDE全型号及SD全型号的维修能力。

螺杆泵维修的技术门槛：螺杆泵的转子型线比罗茨泵更复杂，螺杆型面的精度直接决定泵的极限真空度和抽气效率。SDE-TX高温型还涉及特殊表面处理和加热器系统，修复工艺要求更高。此外，SD系列作为2023年最新平台，其立式螺杆结构和新型加热器系统对维修工艺提出了新要求。玖深紧跟樫山产品迭代，已建立SDE和SD双系列维修工艺规范。

螺杆泵技术路线概述

Kashiyama的螺杆泵采用双螺杆转子结构，与多级罗茨泵（NeoDry/MU/SDL）并列为两大核心技术路线。螺杆泵的优势在于：连续排气无内压缩、转子间无金属接触、耐工艺副产物沉积能力强、适合严苛制程（Hard Process）。SDE系列为卧式安装，SD系列为立式安装（防沉淀设计）。

技术特征	SDE系列（卧式）	SD系列（立式·2023年最新）
螺杆安装方式	卧式（水平）	立式（垂直）
抽速范围	1,300~45,000 L/min	10,000~100,000 L/min
子系列	X（标准耐腐蚀）/ TX（高温加强）	SDX（节能）/ SDT（高耐腐蚀）/ SDH（大抽速重型）
运行温度	X型常规 / TX型高温	SDX/SDT: 0~80°C / SDH: 0~120°C
核心升级	—	新型加热器系统、占地面积缩小、立式防沉淀
市场状态	在售，正被SD系列逐步替代	最新旗舰，未来统一平台

SDE系列维修型号覆盖

SDE-X / SDE-TX 现售型号

型号	抽速(L/min)	极限压力(Pa)	功耗(kW)	类型	维修状态
SDE90X	1,300	1.3	1.3	X标准型	✓ 可修
SDE120TX	1,500	1.3	2.8	TX高温型	✓ 可修
SDE200	3,300	1.3	2.7	标准型（保留原名）	✓ 可修
SDE303X	5,000	0.5	1.5	X标准型	✓ 可修
SDE303TX	5,000	0.5	3.0	TX高温型	✓ 可修
SDE603X	10,000	0.5	1.6	X标准型	✓ 可修
SDE603TX	10,000	0.5	3.1	TX高温型	✓ 可修
SDE1203X	20,000	0.5	2.0	X标准型	✓ 可修
SDE1203TX	20,000	0.5	3.2	TX高温型	✓ 可修
SDE20M12TX	30,000	0.5	—	大幅面高温型	✓ 可修
SDE30M12TX	45,000	0.5	—	大幅面高温型	✓ 可修

X型=标准耐腐蚀型，TX型=高温加强型（通过提高运行温度抑制制程生成物沉积）。TX系列比X系列功耗更高，适合更严苛的工艺环境。

SDE早期型号（已停产 · 二手市场常见）

型号	抽速(L/min)	年代	替代型号	维修状态
SDE90	1,300	2000s初期	SDX600	✓ 可修
SDE120	1,500	2000s初期	SDT600	✓ 可修
SDE200	3,300	2000s初期	—	✓ 可修
SDE303	5,000	2000s	SDX1200/SDT1200	✓ 可修
SDE603	10,000	2000s	SDX1800/SDT1800	✓ 可修
SDE1203	20,000	2000s-2010s	SDH3000	✓ 可修
SDE2003	—	2000s-2010s	SDH6000	✓ 可修

早期SDE型号（无X/TX后缀）已大量进入二手流通市场。配件需兼容方案，玖深可提供。

SD系列维修型号覆盖（2023年最新旗舰）

SD系列全型号

型号	抽速(L/min)	极限压力(Pa)	功耗(kW)	温度范围	定位	维修
SDX600	10,000	0.5	1.5	0~80°C	节能标准型	✓ 可修
SDT600	10,000	0.5	3.0	0~80°C	高耐腐蚀型	✓ 可修
SDX1200	18,000	0.5	1.65	0~80°C	节能标准型	✓ 可修
SDT1200	18,000	0.5	3.15	0~80°C	高耐腐蚀型	✓ 可修
SDX1800	19,000	0.5	2.1	0~80°C	节能标准型	✓ 可修
SDT1800	19,000	0.5	3.3	0~80°C	高耐腐蚀型	✓ 可修
SDH3000	30,000	0.3	3.3	0~120°C	大抽速重型	✓ 可修
SDH6000	50,000	0.5	3.7	0~120°C	超大排量重型	✓ 可修

SD系列最大可扩展至100,000 L/min。SDX=节能标准型，SDT=高耐腐蚀型（特殊表面处理），SDH=大抽速重型（最高温度120°C）。

SDE/SD系列常见故障与维修方案

故障1：螺杆转子涂层剥落/腐蚀
原因分析：腐蚀性工艺气体（如刻蚀工艺中的氟化物）长期侵蚀螺杆表面涂层，导致涂层剥落，转子基材暴露后加速腐蚀
维修方案：螺杆表面状态评估 → 涂层剥离清洗 → 重新喷涂耐腐蚀涂层 → 型线精度测量 → 动平衡校正
⚠ SDT系列采用特殊表面处理，需使用同等工艺修复

故障2：螺杆卡死（工艺生成物板结）
原因分析：CVD/PECVD工艺副产物在高温下烧结板结，填充螺杆间隙，严重时螺杆抱死
维修方案：加热软化 → 缓慢拆解 → 化学溶解沉积物 → 螺杆型面修复 → 间隙重调 → TX型需验证加热器系统

故障3：同步齿轮磨损/断齿
原因分析：螺杆卡死瞬间的冲击载荷导致齿轮损伤，或长期运行齿面疲劳磨损
维修方案：齿轮检测 → 热装更换 → 螺杆相位校准 → 啮合间隙调整 → 啮合噪音测试

故障4：加热器系统故障（TX型/SD系列）
原因分析：SDE-TX高温型和SD全系列配备加热器系统，加热器老化断路或温控失灵，导致泵温不达标，工艺生成物沉积加剧
维修方案：加热器阻值检测 → 更换损坏加热器 → 温控传感器校验 → 加热曲线测试 → 升温速率验证

故障5：排气阀片/单向阀失效
原因分析：工艺副产物附着在排气阀片上，阀片密封不严，导致极限真空度下降和抽速不足
维修方案：排气阀拆解清洗 → 阀片检查/更换 → 密封面修复 → 排气压力测试

故障6：立式螺杆轴承磨损（SD系列专有）
原因分析：SD系列立式安装，下部轴承承受螺杆自重轴向载荷，轴承磨损后螺杆下沉，间隙变化
维修方案：轴向游隙测量 → 下部推力轴承更换 → 螺杆轴向位置校准 → 立式安装状态测试

SD系列维修特别说明：SD系列2023年发布，市面上大部分维修商尚无SD系列维修经验。玖深基于SDE系列维修工艺积累，结合SD系列技术文档，已建立SD系列维修工艺规范。重点差异：立式螺杆拆装工装、新型加热器系统检测、特殊表面处理（SDT型）修复工艺。SD系列维修周期略长于SDE系列（10-15个工作日），部分专用配件需从樫山代理渠道采购。

我们的SDE/SD维修能力

项目	详情
维修品牌	日本樫山工业（Kashiyama）SDE全系列 + SD全系列
SDE覆盖	SDE90~SDE30M12TX（含X标准型、TX高温型、早期无后缀型）
SD覆盖	SDX600~SDH6000（含SDX节能型、SDT高耐腐蚀型、SDH大抽速重型）
核心能力	螺杆型线测量修复、耐腐蚀涂层再生、同步齿轮热装、加热器系统维修
TX型专修	高温型加热器系统检测维修、高温表面处理修复
SD系列专修	立式螺杆拆装、推力轴承更换、新型加热器系统检测
配件方案	原厂件（代理渠道）+ 同等品质替代 + 螺杆涂层自主修复
测试标准	极限真空度、抽速曲线、温升（含加热器曲线）、振动值、噪音五项全测
维修周期	SDE常规7-10个工作日；SD系列10-15个工作日
质保期	整机保修一年
备泵服务	维修期间提供同型号或兼容型号备用泵

SDE vs SD：维修选型建议

维度	继续维修SDE	升级更换SD
费用	维修费为新泵30~50%	新泵全额（进口订货6-12周）
周期	7-10个工作日	6-12周+安装调试
性能	恢复出厂标准90%以上	100%（全新平台）
配件可获得性	X/TX系列配件充足，早期型号需兼容方案	全新系列，配件渠道畅通
技术趋势	SDE正被逐步替代，未来配件可能收紧	SD是未来统一平台，长期配件保障
建议	运行5年以内、故障不频繁的SDE建议维修	SDE使用10年以上/反复维修/新产线建议升级SD

送修流程

1. 联系报修：拨打服务电话或微信，告知SDE/SD型号和故障现象

2. 远程初诊：工程师根据故障描述初步判断原因

3. 送修/取件：客户自行送修或安排物流寄送

4. 初检报价：进场初检后出具维修方案和报价，含配件来源说明

5. 维修测试：六大工段流程化维修，出具测试报告

6. 回送验收：修好泵回送客户，可安排工程师上门安装调试

7. 售后质保：整机保修一年，质保期内免费处理同类故障

联系方式

项目	信息
苏州总部	苏州市（维修车间/备件仓库/螺杆修复工位）
深圳据点	深圳市宝安区（华南维修服务中心）
联系电话	139-2459-2130（王先生）
微信咨询	扫码添加客服微信
服务时间	周一至周六 8:00-18:00，紧急故障7×24响应