樫山Kashiyama NeoDry系列多级罗茨干式真空泵维修

樫山Kashiyama NeoDry系列多级罗茨干式 真空泵维修

苏州玖深真空设备科技有限公司专业维修日本樫山工业（Kashiyama）NeoDry系列多级罗茨干式真空泵。NeoDry是樫山基于1986年日本首台国产干式真空泵技术积累打造的小型空冷干泵产品线，覆盖110~5,000 L/min抽速范围，广泛应用于实验室、分析仪器、轻工业及半导体前级工艺。我们具备NeoDry全型号的维修能力，从最新G系列（7G/15G/30G/36G）到经典E系列（7E~300E），均可提供专业级修复服务。

为什么NeoDry维修需要专业团队？NeoDry采用多级罗茨转子结构，无油无金属接触，对转子间隙、同步齿轮精度、轴承游隙的要求极高。间隙不当直接导致极限真空度下降或转子咬合；非专业拆解容易损伤转子涂层和密封面。玖深拥有10年进口干泵维修经验，每一台NeoDry都经过六大工段流程化作业，确保修复后性能指标达到出厂标准的90%以上。

SDE603

樫山Kashiyama NeoDry系列多级罗茨干式真空泵维修

为什么NeoDry维修需要专业团队？NeoDry采用多级罗茨转子结构，无油无金属接触，对转子间隙、同步齿轮精度、轴承游隙的要求极高。间隙不当直接导致极限真空度下降或转子咬合；非专业拆解容易损伤转子涂层和密封面。玖深拥有10年进口干泵维修经验，每一台NeoDry都经过六大工段流程化作业，确保修复后性能指标达到出厂标准的90%以上。

关于樫山工业（Kashiyama）

樫山工業株式会社成立于1946年，总部位于日本长野县佐久市，是全球半导体真空泵领域仅次于Edwards的重要供应商，在日本国内半导体制造设备用干式真空泵市场份额排名第一。1986年，樫山成功开发出日本首台国产干式真空泵，奠定了其在多级罗茨干泵领域的技术根基。

NeoDry系列技术特点

NeoDry系列采用多级罗茨（Multi-stage Roots）转子结构，是一种无油干式真空泵：

技术特征	说明
转子类型	多级罗茨型线转子，无金属接触
润滑方式	无油（干式），齿轮室独立润滑
冷却方式	空冷（风冷），无需冷却水
极限压力	0.7~5.0 Pa（因型号而异）
抽速范围	110~5,000 L/min
典型应用	实验室、分析仪器、真空脱泡、轻负载半导体前级
核心优势	无油洁净、结构紧凑、空冷免水、维护相对简单

NeoDry全系列维修型号覆盖

G系列（新一代 · 2022年推出）

型号	抽速(L/min)	极限压力(Pa)	重量(kg)	升级亮点	维修状态
NeoDry 7G	110	5.0	19	100-240V宽电压	✓ 可修
NeoDry 15G	250	5.0	22	超静音45dB	✓ 可修
NeoDry 30G	500	1.0	24	极致紧凑	✓ 可修
NeoDry 36G	600	0.7	51	极限压力提升3倍	✓ 可修

E系列（经典 · 持续在售）

型号	抽速(L/min)	极限压力(Pa)	重量(kg)	结构特点	维修状态
NeoDry 7E	110	5.0	19	G系列前身	✓ 可修
NeoDry 15E	250	1.0	23	G系列前身	✓ 可修
NeoDry 30E	500	2.0	25	G系列前身	✓ 可修
NeoDry 36E	600	2.0	54	G系列前身	✓ 可修
NeoDry 60E	1,000	1.0	56	2段式，中大型	✓ 可修
NeoDry 100E	1,670	0.3	90	大抽速空冷	✓ 可修
NeoDry 300E	5,000	0.3	125	5段式，最大空冷机型	✓ 可修

NeoDry 300E维修特别说明：作为Kashiyama最大空冷多级罗茨泵（5段式，125kg），300E的拆解和重新装配需要专用工装和吊装设备。玖深车间配备重型维修工位，可完成300E全段转子拆解、测量、修复和动平衡校正。市面上能修300E的第三方维修商极少。

NeoDry常见故障与维修方案

故障1：极限真空度下降，达不到标称压力
原因分析：转子间隙增大（磨损或装配不当）、密封件老化、内部管路泄漏
维修方案：转子间隙重新测量调整 → 更换全部密封件 → 氦检漏 → 性能复测

故障2：异常噪音/振动增大
原因分析：同步齿轮磨损导致转子相位偏移、轴承游隙增大、转子动平衡失调
维修方案：同步齿轮检测/更换 → 轴承全换 → 转子动平衡校正 → 振动值测量

故障3：泵温过高，过热保护停机
原因分析：冷却风道堵塞、转子摩擦发热、电机轴承损坏
维修方案：冷却系统清理 → 转子间隙检查 → 电机轴承更换 → 温升测试

故障4：无法启动/启动后跳闸
原因分析：电机绕组故障、变频器损坏、转子卡死（异物进入或涂层剥落）
维修方案：电机检测 → 变频器维修/更换 → 转子拆解检查涂层 → 清理/修复

故障5：抽速不足，工艺时间延长
原因分析：转子型线磨损、级间密封损坏、排气阀片失效
维修方案：转子型线测量 → 级间密封更换 → 排气阀检查 → 抽速曲线测试

我们的NeoDry维修能力

项目	详情
维修品牌	日本樫山工业（Kashiyama）NeoDry全系列
覆盖型号	7G/15G/30G/36G + 7E/15E/30E/36E/60E/100E/300E
核心技术	多级罗茨转子间隙精密调整（精度0.01mm级）
转子修复	型线测量、表面涂层修复、动平衡校正
齿轮系统	同步齿轮磨损检测、热装更换、相位校准
密封系统	轴封、O型圈、级间密封全套更换（使用原厂或同等品质配件）
轴承更换	全系列轴承更换，使用NSK/SKF等一流品牌
电气系统	电机检测维修、变频器调试、温控系统校验
测试标准	极限真空度、抽速曲线、温升、振动值、噪音四项全测
维修周期	常规5-7个工作日，加急3个工作日
质保期	整机保修一年

维修流程（六大工段）

1. 进场初检：记录型号、序列号、故障现象，通电初测，拍照存档

2. 拆解清洗：按Kashiyama原厂工艺顺序拆解，零部件分类清洗，标记磨损部位

3. 零部件修复测量：转子型线测量、间隙数据记录、齿轮磨损检测、轴承游隙测量，出具测量报告

4. 单泵测试：更换配件后重新组装，单独上电测试——极限真空度、抽速曲线、温升、振动、噪音

5. 合泵机组测试（如配套前级泵/增压泵）：联机测试匹配性，确保机组整体性能

6. 应用支持：出具维修报告和测试数据，提供安装调试建议和维护周期规划

配件供应保障：NeoDry系列常用配件（轴封、轴承、密封件、O型圈、齿轮）玖深均有备库。对于60E/100E/300E大机型的大型配件（转子、泵体），可通过樫山中国代理渠道采购原厂件，或提供同等品质替代方案。维修周期不受配件采购影响（常规配件备库充足）。

NeoDry维修 vs 更换新泵：TCO对比

项目	维修（玖深）	更换新泵（原厂）
费用	新泵价格的30%~50%	100%（含进口关税物流）
周期	5-7个工作日	订货6-12周 + 安装调试
性能恢复	出厂标准90%以上	100%
质保	整机一年	原厂一年
停机影响	小（可提供备泵）	大（等待周期长）
适用场景	运行3年以上的泵、保修期外设备	设备老化严重无法修复、新产线建设

送修流程

1. 联系报修：拨打服务电话或微信，告知NeoDry型号和故障现象

2. 远程初诊：工程师根据故障描述初步判断原因，给出维修建议

3. 送修/取件：客户自行送修或安排物流寄送（深圳客户可安排上门取件）

4. 初检报价：进场初检后出具维修方案和报价，客户确认

5. 维修测试：六大工段流程化维修，出具测试报告

6. 回送验收：修好泵回送客户，可安排工程师上门安装调试

7. 售后质保：整机保修一年，质保期内免费处理同类故障

联系方式

项目	信息
苏州总部	苏州市（维修车间/备件仓库）
深圳据点	深圳市宝安区（华南维修服务中心）
联系电话	139-2459-2130（王先生）
微信咨询	扫码添加客服微信
服务时间	周一至周六 8:00-18:00，紧急故障7×24响应